薄膜结构性能变化中的“温度临界点”

张丽伟; 卢景霄; 李瑞; 冯团辉; 靳锐敏; 张宇翔; 李维强; 王红娟

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本文先从理论角度说明了薄膜结构性能变化中存在“温度临界点”,然后借助于XRD、Ram an等测试仪器研究分析了S i薄膜、AZO薄膜在晶化过程、晶粒长大过程以及性能突变中的“温度临界点”。结果显示:薄膜结构性能变化中确实存在“温度临界点”;在“温度临界点”前后薄膜结构性能的变化规律曲线出现拐点。进而推论:薄膜的结构性能在随温度变化中“温度临界点”可能不止一个。

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来源
《人工晶体学报》 |2005年第5期|940-943|共4页
作者
张丽伟; 卢景霄; 李瑞; 冯团辉; 靳锐敏; 张宇翔; 李维强; 王红娟;
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作者单位

郑州大学材料物理教育部重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 O447;
关键词
温度临界点; 薄膜结构; X射线衍射; 拉曼光谱;

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