磁悬浮转子微陀螺悬浮线圈的结构设计

吴校生; 陈文元; 赵小林; 李振波; 张卫平; 崔峰; 何淼

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在磁悬浮转子微陀螺(MGELR)中,悬浮线圈是定子线圈的重要组成部分,它产生的电磁力将微转子浮起.基于多圈螺旋型悬浮线圈新型结构能产生较大的悬浮力,应用有限元方法对其进行建模仿真,研究了线圈的圈数、厚度和内径对悬浮力的影响规律.结果表明:随着悬浮线圈的圈数增多,悬浮力增大且幅度增加;线圈厚度增加,悬浮力减小;随着悬浮线圈内径增加,悬浮力呈线性增加.采用了光刻、电镀、溅射等微细加工工艺制造了MGELR的定子.初步的实验结果验证了该设计方案是可行的.

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来源
《上海交通大学学报》 |2005年第1期|125-128|共4页
作者
吴校生; 陈文元; 赵小林; 李振波; 张卫平; 崔峰; 何淼;
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作者单位

上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细加工技术教育部重点实验室;

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正文语种 chi
中图分类 TH824.4;
关键词
磁悬浮; 微陀螺; 线圈; 微细加工;

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