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福建物构所发现新型无铍深紫外非线性光学晶体材料

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深紫外激光由于波长短、能进行更高精度加工的优点,在半导体光刻、激光光电子能谱仪和激光切割上具有重要的应用。目前,KBe2BO3F2（KBBF）是唯一能实际输出深紫外激光的非线性光学（NLO）晶体,但是,KBBF含剧毒铍元素且其晶体层状生长习性严重,因此,急需探索新型深紫外NLO晶体材料。

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来源
《人工晶体学报》 |2015年第8期|2313-2313|共1页
作者

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作者单位

中国科学院福建物质结构研究所;

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正文语种 chi
中图分类 TG146.21;
关键词
深紫外激光; 非线性光学; 晶体材料; 铍元素; 福建; 光电子能谱仪; 高精度加工; 半导体光刻;

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