应用于MEMS陀螺中的Σ-Δ高通级联型调制器设计

王佩生; 权海洋; 张富强; 胡智勇

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应用于MEMS陀螺中的Σ-Δ高通级联型调制器设计

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研究并设计了一种应用于MEMS陀螺的Σ-Δ高通级联型调制器.该调制器基于0.35μm 3.3 V的现代CMOS工艺,选取了无条件稳定的1-1-1 MASH(Multi-stage noise Shaping,多级噪声整形)结构,采用了斩波稳零技术,消除运放1/f噪声和直流偏移.高通积分器的运用,优化了低频信号的传输抗干扰性.本设计中的调制器能够转换MEMS陀螺中带宽40 kHz,范围几十至几百毫伏的目标信号,电路采样时钟频率10.24 MHz,调制器动态范围超过100 dB,有效位数达到17位.

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来源
《微电子学与计算机》 |2010年第12期|47-50|共5页
作者
王佩生; 权海洋; 张富强; 胡智勇;
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作者单位

北京微电子技术研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类容错技术;
关键词
MEMS陀螺; MASH(1-1-1); 斩波稳零; Σ-Δ调制器; 高通积分器;

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