载能Ni原子斜入射Pt(111)表面的分子动力学模拟

颜超

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采用嵌入原子方法的原子间相互作用势,利用分子动力学模拟,详细研究不同角度入射的载能Ni原子在Pt(111)基体表面的沉积过程.结果表明,随着入射角度θ从0°增加到80°,溅射产额、表面吸附原子产额、空位产额的变化情况均可按入射角度近似地分为θ≤20°,20°<θ<60°和θ≥60°三个区域.当θ≤20°时,载能沉积对基体表面的影响与垂直入射时的情况类似,表面吸附原子的分布较为集中,入射原子容易达到基体表面第二层及以下,对基体内部晶格产生一定的影响;在20°<θ<60°的范围内,入射原子的注入深度有所下降,对基体内部晶格的影响减小,表面吸附原子的分布较为均匀,有利于薄膜的均匀成核与层状生长;当θ≥60°时,所有入射原子均直接被基体表面反射,表面吸附原子产额、溅射产额、表面空位产额均接近0,载能沉积作用没有体现.

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来源
《计算物理》 |2011年第5期|767-772|共6页
作者
颜超;
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作者单位

南昌航空大学测试与光电学院无损检测技术教育部重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类物理模拟方法、物理仿真;
关键词
载能沉积; 分子动力学模拟; 吸附原子; 溅射产额; 空位产额;

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