非晶态Se及掺杂Sb的Se薄膜晶化特性研究

叶水驰; 鲍海飞; 蓝慕杰

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非晶态Se及掺杂Sb的Se薄膜晶化特性研究

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利用光学显微镜和Ｘ射线衍射技术，分析了非晶态Ｓｅ和掺杂Ｓｂ的Ｓｅ薄膜的晶化特性。Ｓｅ薄膜由于保存周期不同以及Ｓｂ掺杂到Ｓｅ中的Ｓｂ含量的多少都会影响Ｓｅ的晶化特性；在热处理下薄膜的晶化呈现各向异性的择优生长。分析了晶化过程中微裂纹的产生，晶界的产生和体积收缩。薄膜与衬底之间的热应力是产生微裂纹的主要因素。

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来源
《人工晶体学报》 |1998年第1期|70-74|共5页
作者
叶水驰; 鲍海飞; 蓝慕杰;
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作者单位

哈尔滨工业大学航天电子与光电工程系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类硒Se;薄膜中的力学效应;
关键词
掺杂; 晶化; 微裂纹; 硒; 薄膜; 锑; 非晶态;

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