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大电流密度器件的欧姆接触

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根据大电流密度器件对欧姆接触的要求 ,研究了如何获得高质量的Ti Ni Ag欧姆接触层的方法 ,并成功应用于生产。

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来源
《半导体光电》 |2002年第4期|274-276|共3页
作者
杨雪梅;
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作者单位

重庆光电技术研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类装架;
关键词
大电流密度器件; 欧姆接触; Ti-Ni-Ag;

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