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星载自适应光学系统新型可变形反射镜的研究

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摘要

给出基于硅微加工技术的一种新型可变形反射镜的设计和加工方法。从静电驱动的角度阐述此种反射镜的结构设计原理,并对具体加工中的腐蚀和键合工艺进行了详细讨论。成功制造出有效反射面积为30 mm×30 mm,拥有49个静电驱动单元的可变形反射镜。

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来源
《压电与声光》 |2005年第4期|352-355|共4页
作者
余洪斌; 陈海清; 竺子民; 张大成; 李婷;
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作者单位

华中科技大学光电子工程系;

北京大学微电子学研究所微米/纳米加工技术国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类集成光学器件;
关键词
可变形反射镜; 体微加工; 静电驱动; 阳极键合;

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