工艺参数对化学气相沉积硫化锌起拱的影响

付利刚; 霍承松; 张福昌; 魏乃光; 王学武; 吕反修

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工艺参数对化学气相沉积硫化锌起拱的影响

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本文系统研究了沉积温度、压力、Zn/H2S、以及衬底表面粗糙度对起拱的影响。实验表明,适当的提高沉积温度(650℃)和降低沉积压力(1.5×104Pa)有利于抑制沉积起拱;当Zn/H2S<1时起拱减弱,但透过率下降,可在沉积的初期采用低的Zn/H2S抑制起拱;由于表面阴影和钉扎效应,相对粗糙的衬底表面有更好的抑制起拱效果。

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来源
《人工晶体学报》 |2010年第6期|1596-1600|共5页
作者
付利刚; 霍承松; 张福昌; 魏乃光; 王学武; 吕反修;
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作者单位

北京科技大学材料科学与工程学院;

北京有色金属研究总院北京国晶辉红外光学科技有限公司;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类晶体缺陷;
关键词
起拱; 沉积温度; 沉积压力; 衬底表面粗糙度;

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