Ag、Al掺杂对ZnO薄膜结构和光学性能的影响

秦秀娟; 王佳宁; 卜立敏; 孙丽; 孟惠民; 刘日平

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Ag、Al掺杂对ZnO薄膜结构和光学性能的影响

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采用两种溶胶-凝胶工艺在普通玻璃基片上制备Ag:ZnO和Al:ZnO薄膜,通过XRD、UV-Vis吸收谱等分析方法,研究掺杂Ag和Al对半导体ZnO薄膜的组织结构和光学性能的影响。分析表明:掺杂Ag和Al对ZnO薄膜结构的影响因成胶工艺不同而有差异。但掺杂离子对ZnO薄膜光学性能的影响结论是一致的。即Al3+离子掺杂显著减小了晶粒尺寸,薄膜禁带宽度增大,紫外—可见光吸收边出现蓝移。Ag+离子掺杂增大了晶粒尺寸,薄膜禁带宽度减小,紫外—可见光吸收边出现红移。

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来源
《兵器材料科学与工程》 |2008年第5期|10-13|共4页
作者
秦秀娟; 王佳宁; 卜立敏; 孙丽; 孟惠民; 刘日平;
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作者单位

北京科技大学材料科学与工程学院;

燕山大学环境与化学工程学院;

燕山大学亚稳材料制备技术与科学国家重点实验室;

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正文语种 chi
中图分类 TN304.21;
关键词
掺杂ZnO薄膜; 溶胶-凝胶法; 结构特性; 光学特性;

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