首页> 中文期刊> 《仪器仪表学报》 >超精表面纳米尺度划痕检测系统的研究

超精表面纳米尺度划痕检测系统的研究

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

电子产品高集成度与高性能化的发展,对超精表面和亚表面无损伤性要求越来越高。为了检测纳米尺度的表面微划痕,基于原子力显微镜思想,选用硅微探针工作在轻敲模式,通过外差干涉测量振幅变化,z向反馈实现微划痕成像,构建了一套微划痕检测实验系统。初步实验表明:检测系统达到了纳米级精度,满足了划痕检测性能要求。

著录项

来源
《仪器仪表学报》 |2005年第z1期|239-240|共2页
作者
廖小华; 葛杨翔; 李玉和; 李庆祥;
展开▼
作者单位

清华大学精密仪器及机械学系;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TH7-55;
关键词
划痕; 纳米尺度; 轻敲模式; 外差干涉; 原子力显微镜;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. Li2O-Al2O3-SiO2微晶玻璃超光滑表面纳米划痕产生机理及抑制实验研究 [J] . 向勇 ,任杰 ,白满社 . 纳米技术与精密工程 . 2014,第003期
2. 一种检测金属表面划痕的多尺度多方向形态学方法 [J] . 师平 . 机械设计与制造 . 2016,第010期
3. 超精表面缺陷检测系统的实验研究 [J] . 李玉和 ,李庆祥 ,王东生 . 光学精密工程 . 2005,第0z1期
4. 手机屏幕表面划痕检测系统研究 [J] . 王思宇 ,郭阳宽 ,郭会梁 . 数字技术与应用 . 2018,第004期
5. 手机屏幕表面划痕检测系统研究 [J] . 王思宇1 ,郭阳宽1 ,郭会梁2 . 数字技术与应用 . 2018,第004期
6. 超精表面纳米尺度划痕检测系统的研究 [C] . 廖小华 ,葛杨翔 ,李玉和 . 第三届全国信息获取与处理学术会议 . 2005
7. 微结构光学表面纳米/亚纳米尺度超精密加工工艺研究 [A] . 丁晓亮 . 2013

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号