原位合成AlN及添加钇的复合AlN粉体

郑新和; 王群; 林志浪; 周美玲

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原位合成AlN及添加钇的复合AlN粉体

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以Al Mg和Al Mg Y合金为原料 ,通入高纯度的氮气 ,利用原位合成法制备了AlN粉体及含烧结助剂的复合AlN粉体。合金氮化产物的组织排列疏松 ,有利于粉化。粉化后的AlN粉体纯度较高 ,含氧量为 1.2 3% ,平均粒径为 6 .78μm ,物相为单相AlN ;复合AlN粉体物相组成为AlN主相与稀土钇的氧化物烧结助剂Y2 O3 相。粒径分布曲线呈双峰现象 ,从提高粉体的充填系数角度考虑。

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来源
《中国稀土学报》 |2001年第5期|430-437|共8页
作者
郑新和; 王群; 林志浪; 周美玲;
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作者单位

中国科学院半导体研究所光电子研究与发展中心;

北京工业大学材料科学与工程学院;

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正文语种 chi
中图分类微电子学、集成电路（IC）;
关键词
稀土; 钇; 原位合成; 复合AlN粉体; 氮化铝; 集成电路; 材料; 陶瓷;

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