双腔并联式无阀压电微泵的设计及制作

李鑫; 闫卫平; 徐迎华; 陈怡儒

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双腔并联式无阀压电微泵的设计及制作

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为了实现微流控芯片的小型化、集成化,设计并制作了一种可定量连续输送微量液体的无阀压电微泵。该微泵采用双腔并联式结构,利用微机电系统(MEMS)技术在硅基片上制作了具有扩散口/喷口无阀结构的出入水口,采用压电双晶片作为驱动部件,以聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜。测试结果表明,泵膜的厚度、工作频率和电压对微泵的输出流速均有明显的影响,在频率1 100 Hz及电压80 V时,双腔体并联式无阀压电微泵的最大流速为210μL/min,约为相同结构单腔体微泵流速的1.5倍。

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来源
《压电与声光》 |2010年第4期|611-614|共4页
作者
李鑫; 闫卫平; 徐迎华; 陈怡儒;
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作者单位

大连理工大学电子科学与技术学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类各种用途;铁电及压电器件;
关键词
双腔; 无阀微泵; 压电双晶片; 聚二甲基硅氧烷(PDMS);

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