有机衬底上掺Sb的SnO_2透明导电膜的性质与制备参数关系的研究

杨田林; 杨光德; 高绪团; 万云芳

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有机衬底上掺Sb的SnO_2透明导电膜的性质与制备参数关系的研究

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采用射频磁控溅射法在透明聚酯胶片上制备出了 Sn O2 ∶ Sb透明导电膜 ,主要讨论了制备条件对薄膜光电特性的影响。制备的样品为多晶薄膜 ,并且保持了二氧化锡的金红石结构 ,具有明显的 [1 1 0 ]的趋向。通过调节制备参数 ,制备出了电阻率为 3 .7× 1 0 -3 Ω· cm,平均透过率高于 80

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来源
《光电子技术》 |2002年第2期|63-67|共5页
作者
杨田林; 杨光德; 高绪团; 万云芳;
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作者单位

山东理工大学物理系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜物理学;
关键词
有机衬底; 导电膜; 制备参数; 透明薄膜; 光电特性; 溅射; 掺铅; 氧化锡;

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