超声喷雾热解法制备铝掺杂氧化锌薄膜

严志宸; 张海明; 高波; 朱彦君

首页> 中文期刊> 《人工晶体学报》 >超声喷雾热解法制备铝掺杂氧化锌薄膜

超声喷雾热解法制备铝掺杂氧化锌薄膜

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

采用超声喷雾热解法在玻璃衬底上制作了不同浓度Al掺杂的ZnO∶Al薄膜(AZO)。采用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、光致发光(PL)、反射光谱(Res)、四探针测试仪等测试了不同Al掺杂浓度下AZO薄膜的表面形貌、晶体结构和光学、电学性能。SEM结果表明低掺杂浓度时AZO表面致密,随着Al浓度的增加薄膜表面孔洞增多,平整度降低。XRD结果表明当nZn/nAl物质的量比为100∶5时,AZO薄膜为c轴择优取向纤锌矿结构。PL谱结果表明不同浓度的Al掺杂AZO薄膜具有近带边紫外发射和深能级发射两个发射峰,且紫外发射峰随着Al3+浓度的增加先蓝移后红移。反射光谱表明所有样品在可见光区的反射率较低。。方阻测试结果表明当nZn/nAl为100∶5时,AZO薄膜具有良好的导电性。

著录项

来源
《人工晶体学报》 |2010年第6期|1376-1380|共5页
作者
严志宸; 张海明; 高波; 朱彦君;
展开▼
作者单位

天津工业大学理学院;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 O614.241;
关键词
Al掺杂ZnO; 透明导电薄膜; 超声喷雾;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 超声喷雾热分解法制备p型氧化锌多晶薄膜 [J] . 郑春蕊 . 无机盐工业 . 2011,第004期
2. 超声喷雾热解法制备稀磁掺杂ZnO薄膜的研究 [J] . 王礼慧 ,张灿云 ,徐家跃 . 人工晶体学报 . 2013,第4期
3. 超声喷雾热解法制备不同掺杂浓度ZnO∶Eu薄膜 [J] . 杨岩 ,张海明 ,李菁 . 人工晶体学报 . 2012,第S1期
4. 超声喷雾热解法制备氮掺杂纳米TiO2薄膜及其光催化特性研究 [J] . 李达 ,张军 ,袁川杰 . 物理实验 . 2010,第007期
5. 红外灯辅助喷雾热解法制备可控锑掺杂氧化锡透明热反射薄膜 [J] . 吴文泽 ,付一飞 ,凌春雷 . 新能源进展 . 2016,第003期
6. 超声喷雾热解法制备的氮掺杂纳米TiO2薄膜及其光催化特性研究 [C] . Li Da ,李达 ,Zhang Jun . 2009年薄膜技术高峰论坛暨广东省真空学会学术年会 . 2009
7. 超声喷雾热解法制备氮铟共掺杂氧化锌薄膜光学性能的研究 [A] . 张焕 . 2013

超声喷雾热解法制备铝掺杂氧化锌薄膜

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅