PEM控制合成碳掺杂钛氧薄膜的成分结构研究

薛健璐; 文峰

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采用等离子体发射监测(PEM)系统实现闭环控制反应气体流量,使反应溅射稳定在滞回曲线过渡区,并以气相CO_2和O_2为碳源和氧源制备了碳掺杂钛氧(C∶Ti-O)薄膜。采用原子力显微镜、掠入射X射线衍射和X射线光电子能谱表征薄膜的表面形貌、结构、成分,紫外-可见分光光度计测试薄膜透射率并用Tauc作图法计算薄膜的带隙宽度。结果表明,随着辉光强度设定点(SP)的增大,沉积速率增大,薄膜中Ti-C键含量增多,带隙宽度降低,薄膜的结晶性增强且有利于金红石相的形成。

著录项

来源
《人工晶体学报》 |2017年第8期|1521-1526|共7页
作者
薛健璐; 文峰;
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作者单位

南海海洋资源与利用国家重点实验室;

海口570228;

海南大学材料与化工学院;

热带岛屿资源先进材料教育部重点实验室;

海口570228;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的性质;
关键词
反应溅射; Ti-O薄膜; 碳掺杂; PEM; 过渡区;

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