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热电薄膜平面内热电性能测量技术

         

摘要

介绍了一种测量热电薄膜平面内Seebeck系数和电导率一体化的测量装置。本装置可用于测量室温到300℃温度范围内薄膜材料平面内Seebeck系数和电导率,测量过程简单,测量成本低,且不会对薄膜造成损伤。实验证明,在薄膜两端沉积一层导电性好的铜膜后,该测量装置完全可以忽略接触电阻的影响,使得测量稳定性好,精度高,可满足纳米薄膜热电材料的Seebeck系数和电导率的一体化测量的要求。

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