金刚石膜/硅基体热残余应力场有限元分析

唐达培; 高庆

首页> 中文期刊> 《人工晶体学报》 >金刚石膜/硅基体热残余应力场有限元分析

金刚石膜/硅基体热残余应力场有限元分析

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

运用ANSYS软件建立了有限元模型,对化学气相沉积在硅基体上的金刚石膜内部和膜/基交界面处的各热残余应力分量的分布作了计算与分析。所建模型与已有的一维解析模型都能得出厚度截面上的法向应力分量的分布,且吻合较好,而前者的优点在于它还能模拟切向应力和剪应力等其它应力分量,这对分析膜/基界面的粘附与失效是至关重要的。

著录项

来源
《人工晶体学报》 |2007年第2期|377-380|共4页
作者
唐达培; 高庆;
展开▼
作者单位

西南交通大学应用力学与工程系;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜技术;
关键词
金刚石膜; 硅基体; 热残余应力; 有限元方法;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 膜厚与硅含量对硅基铜膜的电导率和残余应力的影响 [J] . 徐子钧 . 陕西师范大学学报：自然科学版 . 1998,第0S1期
2. 热丝CVD在涂巴基管硅基片上沉积大面积金刚石膜 [J] . 曾效舒 ,高志栋 ,梁吉 . 人工晶体学报 . 1996,第4期
3. 典型孔结构激光冲击强化残余应力场特征及有限元分析 [J] . 罗懋钟 ,曹子文 ,代军义 . 航空制造技术 . 2020,第017期
4. 双离合器内片支架焊接残余应力场有限元分析 [J] . 刘纯真 ,褚超美 ,顾健华 . 机械强度 . 2019,第3期
5. 电火花加工表面喷丸残余应力场的有限元分析 [J] . 靳晓明 ,郭睿智 . 黑龙江科技大学学报 . 2014,第006期
6. 膜-基界面形貌对金刚石膜残余热应力的影响 [C] . WEI Jianping ,魏建平 ,TANG Dapei . 四川省力学学会2013年学术年会 . 2013
7. 硅基纳米金刚石膜生长及其发光器件 [A] . 梁兴勃 . 2008

金刚石膜/硅基体热残余应力场有限元分析

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅