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李微; 孙云; 何青; 刘芳芳; 李凤岩;
南开大学光电子薄膜器件与技术研究所;
天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室;
孪生对靶; 磁控溅射; ZnO:Al;
机译:直流磁控溅射ZnO:Al 2 sub> O 3 sub>陶瓷靶材制备Al-N共掺杂p型ZnO薄膜中高载流子迁移率的实现
机译:直流磁控溅射高导电性ZnO(ZnAl_2O_4)陶瓷靶的透明导电ZnO:Al薄膜的制备与表征
机译:直流磁控溅射斜靶在纳米Al_2O_3纳米通道衬底上生长的ZnO:Al网络膜的结构,电学和光致发光特性
机译:使用ZnO / MgO / Al_2O_3靶通过射频磁控溅射制备的Al掺杂MgZnO薄膜的物理性质
机译:用于微辐射热计应用的脉冲直流磁控溅射氧化钒薄膜的制备,表征和沉积后修饰
机译:直流反应磁控溅射制备纳米结构多孔ZnO薄膜的表面性能
机译:通过用ZnO:Al2O3溅射的直流磁控溅射制造的Al-N编码P型ZnO薄膜中的高载流性迁移率
机译:射频和直流磁控溅射制备电解质和电极薄膜的性能
机译:ZnO:Al靶材,其薄膜及其制造方法
机译:氧化锌(ZnO)基单晶纳米结构,制备ZnO基薄膜和ZnO基单晶薄膜,ZnO基单晶薄膜和ZnO基材料包含ZnO薄膜的方法
机译:具有ZnO靶材的制造方式和导电性薄膜无效的ZnO靶材
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