从近5年发表文献看微粒子粘附与清除的研究进展

崔燕; 吴超

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从近5年发表文献看微粒子粘附与清除的研究进展

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微粒子存在于基体表面,会对基体各方面性能造成影响,现在很多学者致力于微粒子方面的研究。为了了解在微粒子粘附、清除和预防方面的科研进展情况,利用美国工程索引Ei数据库,以Particle,Adhesion和Removal3个主题词检索了2003年至今的研究成果,共检索出相关的文献100余篇。对这些文献做了详细的分析,并根据它们的发表时间、研究内容、作者国家、测试设备、应用领域和前沿方向分别做了统计,提出了该领域今后的发展方向。

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来源
《科技导报》 |2008年第24期|95-98|共4页
作者
崔燕; 吴超;
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作者单位

中南大学资源与安全工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类激光的应用;
关键词
微粒子; 粘附; 清除; 清洁技术;

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