基于压电陶瓷管扫描器的大范围纳米定位系统

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• 来源
  《仪表技术》 |2009年第4期|39-41|共3页
• 作者

  孙鑫; 程传东; 胡志强; 张波;

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• 作者单位

  上海大学机电工程与自动化学院;

  上海海兹思光电科技有限公司;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 设计、计算与制图;显微镜;
• 关键词

  样品移动平台; 摩擦力和惯性; 原子力显微镜; 定位控制;