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廖红华;
湖北民族学院信息工程学院;
温度控制系统; 双闭环; 模糊PID控制器; 自适应控制;
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机译:用于半导体制造设备的PID温度控制器,用于计算半导体制造中的PID常数的方法以及用于半导体制造设备的温度控制器,用于操作该方法
机译:用于半导体制造设备的温度控制器,用于计算半导体制造中的PID常数的方法以及用于操作半导体制造设备的温度控制器的方法
机译:用于半导体制造设备的温度控制器,用于计算半导体制造中的PID常数的方法以及用于用于半导体制造设备的温度控制器的操作方法
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