微型薄膜气敏元件的热功耗分析

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• 来源
  《上海交通大学学报》 |2005年第7期|1201-1204|共4页
• 作者

  吕红浪; 兰怀迎; 李东华; 刘文利;

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• 作者单位

  济南大学机械工程学院;

  济南半导体研究所;

  山东大学物理与微电子学院;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 封装及散热问题;
• 关键词

  薄膜; 气敏元件; 热功耗; 传热系数;