可见近红外双波段增透膜的设计及制备

李帅; 孙亚军; 刘桂林; 朱华新; 郭颖; 李果华

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可见近红外双波段增透膜的设计及制备

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以K9为基底设计了一种覆盖部分可见及近红外双波段的增透膜,即:增透波长包括0.55～0.78μm和1.0～1.3μm两个波段。工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法,薄膜材料仅含有TiO2和SiO2,并分别作为高低折射率材料。利用岛津分光光度计对双面镀制该膜系样品的透过率进行测量,测试结果表明0.55～0.78μm波段平均透过率为98.01%,1.0～1.3μm波段平均透过率达到97.04%。通过SEM的膜层截面证实实际膜层厚度相对于设计值来说偏厚,致使透射率光谱曲线略往长波方向漂移,但所需波段内平均透过率仍可满足所需光学特性。环境测试表明:薄膜具有良好的稳定性和牢固度。该增透膜可以应用于可靠性要求较高的环境中。

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来源
《人工晶体学报》 |2014年第7期|1769-1773|共6页
作者
李帅; 孙亚军; 刘桂林; 朱华新; 郭颖; 李果华;
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作者单位

江南大学理学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜物理学;
关键词
光学薄膜; 电子束蒸发物理气相沉积; 透过率;

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