电化学乙醇气体敏感元件及其敏感特性研究

曾庆丰; 邓永和

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在WO3粉体材料中加入一定质量比的添加剂(Pt、Pd、PtO2、PdCl2、SnO2、SiO2、Al2O3),恒温600℃烧结1h制成旁热式厚膜乙醇气体敏感元件。采用静态电压测量法,研究了元件的加热电压与元件灵敏度β的关系以及添加剂对元件的响应与恢复时间的影响。实验结果表明:乙醇的气体体积分数为10-3,WO3元件掺入质量分数为0.5%的PdCl2,在加热功率为600mW下元件的响应与恢复时间分别为9.0s和11.0s,与纯WO3元件相比元件的灵敏度提高了约8倍。

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来源
《微纳电子技术》 |2008年第7期|416-418|共4页
作者
曾庆丰; 邓永和;
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作者单位

贵州大学理学院;

贵阳550003;

湖南工程学院数理系;

湖南湘潭411104;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212.2;
关键词
乙醇气体敏感元件; 灵敏度; 添加剂; 电化学; 响应与恢复时间;

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