温补型体声波滤波器设计与制备

张智欣; 陈晓阳; 陈长娥; 闫鑫; 林树超

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基于薄膜体声波谐振器(FBAR)技术的滤波器频率温度系数为(-30~-25)×10^(-6)/℃,其电学性能受环境温度影响较大,将降低滤波器在全温工作的性能,限制其应用环境,尤其是对滤波器通带插损与矩形系数要求高的应用场合。该文在常规FBAR滤波器中引入正温度系数的SiO_(2)材料层,通过对滤波器的层叠位置设计及加工工艺等技术的研究,研制出S波段温补型FBAR滤波器器件,其工作频率为3.1 GHz,插入损耗为2.0 dB,带外抑制不小于30 dB,频率温度系数为-0.02×10^(-6)/℃。

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来源
《压电与声光》 |2022年第2期|242-245|共4页
作者
张智欣; 陈晓阳; 陈长娥; 闫鑫; 林树超;
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作者单位

北京无线电测量研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类铁电及压电器件;
关键词
薄膜体声波谐振器(FBAR); 滤波器; 温补层; SiO_(2); 频率温度系数;

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