(Ti,Al,Cr)N膜系的研究进展

刘聪; 张钧; 张热寒; 李宁

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(Ti,Al,Cr)N膜系的研究进展

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总结了(Ti,Al,Cr)N膜系的沉积方法并讨论了化学成分、N2流量以及基底偏压等工艺参数对薄膜产生的影响,针对(Ti,Al,Cr)N膜系的相组成与膜层成分、抗氧化性、耐腐蚀性、显微硬度、抗摩擦磨损性能以及膜基结合力等方面进行了详细阐述。在此基础上,对(Ti,Al,Cr)N膜系的未来发展进行了展望,以期为多组元氮化物硬质膜的研究提供参考。

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来源
《材料保护》 |2021年第3期|131-136|共6页
作者
刘聪; 张钧; 张热寒; 李宁;
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作者单位

辽宁省多组硬质膜研究及应用重点实验室;

沈阳大学机械工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类金属复层保护;
关键词
(Ti)N系硬质膜; 抗氧化性; 耐腐蚀性; 显微硬度; 抗摩擦磨损性能;

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