基于ZrN系列陶瓷硬质薄膜的研究现状与进展

汪凯; 张高会; 汪阳

首页> 中文期刊> 《材料保护》 >基于ZrN系列陶瓷硬质薄膜的研究现状与进展

基于ZrN系列陶瓷硬质薄膜的研究现状与进展

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

综述了近年来ZrN系列陶瓷硬质薄膜的诸多设计思路和研究方法,考察了各种研究方法的优缺点,展望了该系薄膜的研究方向;并从ZrN薄膜自身的物理化学性质开始,介绍了先进的制备方法及工艺参数对镀膜的影响;分析了以ZrN相为基础的梯度薄膜和多层薄膜,对其结构、成分、耐腐蚀性能、耐磨性能等进行讨论。指出多层、梯度陶瓷膜具有单一ZrN相薄膜无法实现的优点,多层、梯度陶瓷膜将依然是未来ZrN相系陶瓷硬质薄膜的研究方向。

著录项

来源
《材料保护》 |2022年第5期|149-155|共7页
作者
汪凯; 张高会; 汪阳;
展开▼
作者单位

中国计量大学表面物理研究所;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类金属复层保护;
关键词
ZRN; 梯度; 多层; 磁控溅射; 离子镀;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. ZrN系列薄膜的研究进展 [J] . 李宇恒 ,胡社军 ,曾鹏 . 工具技术 . 2007,第7期
2. 基于中间过渡层技术提高金刚石薄膜与硬质合金基体间附着力的研究进展 [J] . 崔雨潇 ,赵天奇 ,孙方宏 . 中国科技论文 . 2015,第006期
3. 基于中间过渡层技术提高金刚石薄膜与硬质合金基体间附着力的研究进展 [J] . 崔雨潇 ,赵天奇 ,孙方宏 . 中国科技论文 . 2015,第006期
4. ECR—PECVD制备Si3N4硬质陶瓷薄膜的研究 [J] . 陈俊芳 ,丁振峰 . 功能材料 . 1998,第003期
5. 宽温域自润滑硬质薄膜材料研究进展 [J] . 赵子彤 ,鞠洪博 ,喻利花 . 上海化工 . 2021,第3期
6. TiCN渐进陶瓷硬质薄膜的力学性能研究 [C] . 李世钦 ,杨耀升 ,李克让 . 第十届全国耐磨材料大会 . 2003
7. ZrN基纳米结构硬质薄膜研究 [A] . 董云杉 . 2006

基于ZrN系列陶瓷硬质薄膜的研究现状与进展

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅