基于宽波段光源拼接镜新型共相检测技术研究

李斌; 杨阿坤; 邹吉平

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基于宽波段光源拼接镜新型共相检测技术研究

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摘要

鉴于单块口径的光学望远镜不能无限增大,采用拼接镜技术才能造出10 m以上口径的光学望远镜,因此,拼接镜的共相检测技术成为了拼接过程和维持镜面质量的关键技术。针对目前最被接受的宽窄带夏克哈特曼法,本文提出使用宽波段(400~700 nm)光源的非相干性和相干性相结合方式实现250 nm粗共相,以及10 nm精共相,以此解决由于目标流量过低而引起测量时间过长的问题。即在粗共相时,以两个半圆孔的非相干衍射图样为模板,白光为光源,采用互相关算法计算互相关系数的值,通过设置合理的互相关系数阈值,以实现无限制的检测范围和0.25μm的检测精度;精共相时,以白光为光源、采用以一幅相干衍射图案(理想白光艾里斑)为模板的方式替代多幅不同平移误差下的相干衍射图案为模板方式,实现0.27μm量程、0.01μm以上精度的共相检测。对该共相方法进行了理论和仿真分析,结果表明:该新型共相检测方法的检测量程为无限量程,检测精度能达到10 nm以上,该方法适用于拼接镜粗精共相的检测。

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来源
《中国光学(中英文)》 |2022年第4期|797-805|共9页
作者
李斌; 杨阿坤; 邹吉平;
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作者单位

华东交通大学智能机电装备创新研究院;

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正文语种 chi
中图分类物理光学（波动光学）;
关键词
天文光学; 望远镜; 子孔衍射; 共相检测;

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