绝对式光栅尺母光栅刻划装置的设计

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• 来源
  《机电产品开发与创新》 |2014年第2期|108-109,79|共3页
• 作者

  郑黎明; 谭向全;

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• 作者单位

  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033;

  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 机床加工生产自动化;
• 关键词

  绝对式光栅尺; 母尺光栅; 刻划装置; 曝光光源;