树脂硬度对金刚石切割线切割性能的影响

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• 来源
  《金刚石与磨料磨具工程》 |2019年第1期|72-75|共4页
• 作者

  高伟; 李军; 马伯江; 王东雪;

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• 作者单位

  青岛科技大学 机电工程学院;

  山东 青岛 266061;

  青岛科技大学 机电工程学院;

  山东 青岛 266061;

  青岛科技大学 机电工程学院;

  山东 青岛 266061;

  青岛高测科技股份有限公司;

  山东 青岛 266114;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 磨具、研具;人造宝石、合成宝石的生产;磨削加工与磨床;
• 关键词

  树脂固化; 肖氏硬度; 断裂表面; 硅片切割;