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扫描电子显微镜与焦离子束结合进行纤维组织分析

         

摘要

卡尔蔡氏SMT的纳米技术系统分部和SⅡ纳米技术公司合作.开发出一种新的纳米级显微分析技术。该技术将扫描电子显微镜与聚焦离子束和气体注射系统相结合,进行“纳米区域”的成像、结构标定和成分分析。

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