同步加速器独立远紫外线显微镜

爱莲

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cqvip:德国费拉恩豪佛法理社会公司开发出一种分辨率达50nm的同步加速器独立远紫外线（EUV）显微镜。该仪器是专门为半导体工业开发的，因为半导体工业正在发展波长11nm～14nm的EUV激光束集成电路。激光束是由同步加速器产生的。EUV显微镜与同步加速器独立，因为其通过脉冲等离子源产生自身的EUV辐射，功率很小。光学系统由聚光器、

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来源
《军民两用技术与产品》 |2005年第10期|P.29|共1页
作者
爱莲;
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作者单位

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正文语种 chi
中图分类设计;
关键词
同步加速器; 远紫外线; 显微镜; 半导体工业; 工业开发; 集成电路; UV辐射; 等离子源; 光学系统;

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