MEMS中基于制造工艺的多层材料结构分析

邓斌; 刘晓明; 邓琼

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在 MEMS中,由于制造工艺的不同,形成了不同的多层材料结构.因此,在MEMS设计中必须针对多层材料结构形式进行分析.同时,由于它们的功能要求差异和使用环境的不同,必须对其进行必要的结构分析,以最佳的结构性能,最低的制造成本满足使用要求.文中提出MEMS中基于制造工艺的多层材料结构分析的方法.并应用该方法针对加速度微阵列式传感器进行结构分析计算,设计并制造了式样.在ENDVCO2270设备上进行测试,获得62500g的加速度测试值.

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来源
《电子机械工程》 |2005年第5期|47-50|共4页
作者
邓斌; 刘晓明; 邓琼;
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作者单位

中国电子科技大学机械电子工程学院,四川,成都,610054;

中国电子科技大学机械电子工程学院,四川,成都,610054;

中国电子科技大学机械电子工程学院,四川,成都,610054;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类设计与性能分析;半导体器件制造工艺及设备;
关键词
MEMS 多层材料; 结构分析; 制造过程;

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