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高能束在气相沉积超硬薄膜材料中的应用

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摘要

在材料表面工程技术中应用高能束流是先进制造技术的一个重要发展方向，它具有常规加工方法无可比拟的特点。在新型薄膜材料的制备中，利用高能量密度的激光束、离子束等作为热源．辅助和诱导气相反应制备薄膜材料，克服了普通化学气相沉积和物理气相沉积超硬薄膜材料性能上的不足，显著地提高了薄膜的沉积效果。

著录项

来源
《电加工与模具》 |2006年第B05期|P.56-58,69|共4页
作者
葛柏青; 段来根; 于波;
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作者单位

常州机电职业技术学院模具技术系,江苏常州213000;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类薄膜技术;
关键词
高能束; 气相沉积; 薄膜;

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