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Kubi.; GD; 王占山;
激光等离子体; 光源; X射线; 光刻;
机译:激光等离子体 软X射线 源 的研制 投影光刻
机译:激光产生的等离子体与激光辅助的放电等离子体:极紫外光刻光源的物理和技术
机译:投影光刻用激光等离子软X射线源的研制
机译:用于软X射线投影光刻激光产生的气泡等离子体的表征
机译:EUV光刻专用的锡掺杂微滴激光等离子体光源的辐射研究。
机译:极紫外光刻光源的激光产生的锡等离子体的电子密度和温度的时间分辨二维分布
机译:使用激光等离子体源的衍射极限软X射线投影成像
机译:软X射线投影光刻激光等离子体源的计算模拟
机译:用于微光刻的投影曝光系统的激光光源的激光发散操纵器,具有光束移动单元,用于使激光束相对于目标区域发生局部变化,从而使光束的横截面发生位移
机译:极紫外软X射线投影光刻方法系统及光刻元件
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