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基于相干光的微电子光学测量系统技术分析

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摘要

目前集成电路对微电子测量技术提出了较高要求,其中光学关键尺寸作为微电子测量中的关键,其分辨率与测量极限问题表现得较为突出。本文基于相干光技术,详细研究相干光技术在微电子光学测量中的应用,并提出一套完整的系统方案,希望为进一步提高微电子测量精准度寻找出更有效的方法。

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来源
《电子元器件与信息技术》 |2020年第9期|4-5|共2页
作者
陆亚青;
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作者单位

无锡科技职业学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光度学（测光学）;一般性问题;
关键词
相干光; 微电子; 光学测量; 光路系统;

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