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殷英; 徐小宇; 闰帅; 任卓翔;
中国科学院微电子研究所 北京100029;
中国科学院大学 北京100049;
三维及纳米集成电路设计自动化北京市重点实验室 北京100029;
对偶方程方法; 有限元法; 多物理场; 稳态电热耦合;
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