MEMS压力传感器及其应用

机译：MEMS电容式压力传感器-适用于改善线性度的微压力传感器的应用示例

机译：基于MEMS基于MEMS用于航空航天应用的压力传感器的测试与评估

机译：高敏感的石墨烯压阻MEMS压力传感器通过在硅隔膜中的杆梁整合进行低压测量应用

机译：基于MEMS的微流体应用压阻式压力传感器的设计与仿真

机译：适用于恶劣环境的聚合物/陶瓷无线MEMS压力传感器：高温和生物医学应用

机译：微型FBG-MEMS压力传感器在千斤顶渗透过程中的应用

机译：用于MEMS电容式压力传感器应用的方形ZnO，ZnS和AlN膜的建模

机译：用于aUV物体避免的分布式mEms压力传感器阵列的开发与应用

机译：差动MEMS压力传感器具有陶瓷集管体和制造差动MEMS压力传感器的方法

机译：制造MEMS压力传感器的方法以及相应的MEMS压力传感器

机译：MEMS压力传感器和使用两个膜片定位MEMS压力传感器的方法