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微型机电继电器研究进展

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摘要

微型化是机电继电器最重要的发展方向之一，MEMS设计和制造技术的进展开辟了机电继电器微型化的崭新途径。本文系统介绍了典型MEMS继电器的研究进展，简要地比较、评述了它们的优势和缺点。

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来源
《电子产品世界》 |2005年第3a期|P.112-114,122|共4页
作者
张东梅; 丁桂甫; 姜政;
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作者单位

上海交通大学微纳米科学技术研究院;

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正文语种 CHI
中图分类制造工艺;
关键词
机电继电器; 微型机; MEMS; 微型化; 系统; 设计; 新途径; 制造技术;

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