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RF MEMS器件的研究及其应用前景

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本文对微机械电容、微机械电感、微机械谐振器/滤波器、微机械传输线、微机械天线阵列和微机械开关等RFMEMS器件的特点、研究现状及其在射频收发模块中的应用进行了综述,并展望了它们未来的发展趋势.

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来源
《电子产品世界》 |2003年第9期|37-40|共4页
作者
缪昱; 武国英;
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作者单位

北京大学微电子学研究院;

北京大学微电子学研究院;

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正文语种 chi
中图分类通信;
关键词
RFMEMS; 微机械器件;

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