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新世纪的新事业--中国MEMS调查

         

摘要

@@ 微电子机械系统(Microelectromechanical System,MEMS,亦称微型机电系统)是将微电子、精密机械、生化和信息处理等高技术有机整合.它对21世纪的科学技术和人类生产和生活方式将产生革命性影响,并在未来高科技战争中扮演着举足轻重的角色,是关系国民经济发展和国家安全保障的关键技术.

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