基于PGA900的薄膜微压传感器研究

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• 来源
  《电子产品世界》 |2022年第1期|52-55|共4页
• 作者

  鹿文龙; 王刚;

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• 作者单位

  陕西电器研究所;

  西安710075;

  西安北方光电科技防务有限公司;

  西安710048;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 自动化技术及设备;
• 关键词

  PGA900; 微压传感器; 溅射薄膜; 信号调理;