高精度位移测量系统硬件在环仿真优化设计

杨松; 张文涛; 熊显名; 王献英

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高精度位移测量系统硬件在环仿真优化设计

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cqvip:设计了一种基于多核DSP的高精度位移测量系统硬件在环仿真平台。本平台拥有以下优点:数值计算板卡内嵌多核DSP计算核心;多个计算核心并行处理测量模型;一块板卡同时输出多组位置信息。本平台采用了多核DSP特有的共享内存机制,从而缩短了模型内部数据通讯时间,最终缩短了单次多组测量模型的运算时间。实验结果表明,本仿真平台模型计算精度达到0.431nm,整体单次运行时间为14.242us。经优化设计后的硬件在环仿真平台模型计算精度提高了0.359nm,系统运行时间缩短了17.110us,所以该平台具有更广阔的工程应用前景。

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来源
《仪器仪表用户》 |2020年第3期|1-6|共6页
作者
杨松; 张文涛; 熊显名; 王献英;
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作者单位

桂林电子科技大学电子工程与自动化学院广西桂林541004;

上海微电子装备(集团)股份有限公司上海201203;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光学仪器;
关键词
多核DSP; 硬件在环; 精密测量; 掩模台; 光刻机;

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