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传感器是各种控制都少不了的重要角色,准确、迅速的控制对传感器的量程、精度、灵敏度等指标都提出了越来越高的要求,这一点在加速度测量中也不例外。加速度测量在运动控制中起着重要的作用。在汽车、洗衣机、机器人甚至游戏手柄里都能找到加速度传感器的身影。正因为加速度传感器有着如此广泛的应用,市场对这种产品的需求也呈现出多样性的特征,而且常常对体积与性能的要求比较苛刻。在小型化方面,MEMS(微电子机械系统)

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来源
《今日电子》 |2001年第12期|12-12|共1页
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正文语种 chi
中图分类电子工业;
关键词
传感器; MEMSIC公司; CMOS工艺; 加速度测量; 微电子机械系统;

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