高集成度基于MEMS的全硅振荡器

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• 来源
  《今日电子》 |2013年第8期|63-63|共1页
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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 半导体集成电路（固体电路）;
• 关键词

  MEMS谐振器; 高集成度; 硅振荡器; Silicon; CMOS振荡器; 频率控制; Labs; 高可靠性;