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特高压晶闸管门-阴极电隔离制造新技术

         

摘要

本文分析了传统特高压晶闸管门-阴极电隔离技术的优缺点。基于门-阴极版图优化及光刻刻蚀工艺优化,发展了一种全新的门-阴极电隔离制造技术。该技术不仅使工艺成品率大大提高,门、阴极隔离更有效,同时阴极导通面积增大。测试了三种不同门-阴极电隔离制造技术,测试结果显示,优化后的特高压晶闸管各参数更优。

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