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微透镜工艺优化背照CCD器件MTF的研究

         

摘要

背面微透镜技术可以收束入射光的进入范围,理论上可以有效降低像元间的漏光(smear)以及MTF问题。针对某背照CCD器件进行微透镜设计,并对集成了微透镜技术的器件进行对比测试。结果证明该方法可以有效优化器件MTF值。

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