基于LTCC技术的无源气压传感器研制

刘红雨; 李姗泽; 王颖麟; 李俊

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基于LTCC技术的无源气压传感器研制

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介绍基于LTCC技术的无源气压传感器的基本原理和理论模型,主要制作工艺流程和关键工艺难点.研究了LTCC内埋型空腔的实现方法、牺牲层材料的选取和依据,并对无源气压传感器的理论模型进行仿真分析与实际测试.结果表明利用LTCC内置空腔技术研制的气压传感器测试结果与仿真分析吻合较好,谐振频率随外界压力的增大而减小,谐振频率随压力的变化近似于线性变化,在复杂环境内依然能够实现预期功能.

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来源
《电子与封装》 |2017年第5期|5-715|共4页
作者
刘红雨; 李姗泽; 王颖麟; 李俊;
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作者单位

中国电子科技集团公司第二研究所,太原030024;

中国电子科技集团公司第二研究所,太原030024;

中国电子科技集团公司第二研究所,太原030024;

中国电子科技集团公司第二研究所,太原030024;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体器件制造工艺及设备;
关键词
LTCC; 内埋型腔体; 气压传感器;

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