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激光调阻L型切割的仿真分析

         

摘要

激光调阻具有高效率、高精度,是目前制备高精度印刷电阻的通用方法,广泛应用于厚膜集成电路、厚膜传感器等.L型切割精度高,阻值稳定性好,是最常用的调阻切割路径.对不同L型切割尺寸切割后的电阻进行仿真,分析电阻上的电流密度和发热功率分布,得到的结果与实际经验吻合很好,对L型切割路径参数设置具有指导意义.

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